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半導體電子設備

硅片擴散超聲波清洗機

發(fā)布時(shí)間:2020-10-05 作者:魯超超聲 點(diǎn)擊:111次

硅片擴散超聲波清洗機(圖1)

 

概述:

該設備用于晶圓片擴散、蒸發(fā)、CAV生產(chǎn)前的清洗處理。該機共有六種清洗方式可供選擇,清洗程序為純水清洗、膽堿清洗、冷熱純水沖洗、酸洗(HF)、純水清洗。其工藝性能指標及可靠性完全達到進(jìn)口同類(lèi)設備水平,但價(jià)格、售后服務(wù)、備品備件的供給等是進(jìn)口設備無(wú)法比擬的。

主要特點(diǎn):

采用進(jìn)口PP板制作。

適用2-6寸硅片清洗。

超聲功率強勁,性能穩定。

 


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